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ICP炬管是由三支同心石英管組成的，也都有三個進氣管，分別進三股氣流：冷卻氣、輔助氣及載氣。冷卻氣又稱為等離子氣。載氣又稱為進樣氣或霧化氣，它把試液霧化并把氣溶膠送入ICP光源。理想的ICP應該易點燃，節省工作氣體及炬焰穩定。通用的ICP不足之處是耗氣量，如果降低冷卻氣流量又容易燒毀。只有保持高頻輸入功率和等離子體消耗能量之間平衡，ICP炬焰才能穩定。
雙通霧室 霧室利用霧化氣溶膠的動能高效快速地清除掉液滴，同時減了液滴凝結的可能。與其它霧室設計相比，具有效率高、精密度好、沖洗速度快的特點。 *安裝簡單，使用方便 *體積，便于排空，記憶效應低
旋流霧室 霧室利用霧化氣溶膠的動能高效快速地清除掉液滴，同時減了液滴凝結的可能。與其它霧室設計相比，具有效率高、精密度好、沖洗速度快的特點。 *安裝簡單，使用方便 *體積，便于排空，記憶效應低
復合霧室 霧室利用霧化氣溶膠的動能高效快速地清除掉液滴，同時減了液滴凝結的可能。與其它霧室設計相比，具有效率高、精密度好、沖洗速度快的特點。 *安裝簡單，使用方便 *體積，便于排空，記憶效應低
噴霧器 ICP具有靈敏度高、精度好等突出優點 ICP霧化器具有的使用效率
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