電感耦合等離子體發射光譜儀又稱為ICP光譜儀、ICP原子發射光譜儀，以電感耦合高頻等離子體為激發光源，利用每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，進行元素的定性與定量分析。

　　可以看到，ICP光譜儀主要由進樣系統、電感耦合等離子體光源(ICP)、光譜儀的分光(色散)系統以及檢測器-光電轉換器件等部分組成。其中，進樣系統是ICP光譜儀的重要組成部分之一，也是當前ICP光譜分析研究中較為活躍的領域，涵蓋液體、氣體或者固體進樣。電感耦合等離子體光源(ICP)的重要性不言而喻，它是利用通過高頻電感耦合產生等離子體放電的光源。色散系統就是，將復合光通過色散元素分光，從而得到一條按照波長順序排列的光譜，即將復合光束分解為單色光。光電轉換器件是光電光譜儀接收系統的核心部分，主要是利用光電效應將不同波長的輻射能轉化成光電流的信號。

　　ICP光譜儀的分析過程主要分三步，即激發、分光和檢測。其一，激發光源使試樣蒸發汽化，離解或分解為原子狀態，原子也可能進一步電離成離子狀態。原子及離子在光源中激發發光；其二，利用分光器把光源發射的光色散為按波長排列的光譜；其三，利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析。