光譜干擾在ICP光譜儀分析中占有最重要的地位，在一般的光譜儀工作的波長(zhǎng)范圍內(nèi)約有數(shù)十萬(wàn)條光譜線，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)不同程度的譜線重疊干擾。此外，ICP光譜儀光源還發(fā)射連續(xù)光譜背景以及某些分子光譜帶，建立分析方法時(shí)在選擇分析線和校正光譜干擾往往要花費(fèi)很多工作量。為了獲得準(zhǔn)確可靠的數(shù)據(jù)，必須重視ICP光譜儀的光譜干擾問(wèn)題。在ICP光譜儀分析中，有以下幾種類型的光譜干擾不能忽視：

　　(1)譜線變寬引起的光譜干擾

　　在ICP光源中，引起譜線變寬的外界因素主要有：

　　①多普勒變寬(又稱熱變寬)是由原子無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)造成的。

　　②碰撞變寬

　　原子或離子與中性粒子或帶電粒子碰撞引起變寬。在ICP光譜儀分析中中有三種：

　　a共振變寬：同種原子相互碰撞引起的譜線變寬。b范德華交寬：痕量元素的粒子與氬的中性原子碰撞引起的譜線變寬。c斯托克變寬；在電場(chǎng)作用下，帶電粒子碰撞引起的譜帶變寬。

　　(2)復(fù)合輻射引起的光譜干擾．復(fù)合輻射是電子被離子俘獲過(guò)程中，以輻射形式釋放能量產(chǎn)生的連續(xù)光譜，它的強(qiáng)度隨著電子密度的升高而急劇增加。氬等離子體中電子密度較大，故要考慮這種背景的影響，特別是對(duì)痕量元素的分析。

　　(3)基體元素的強(qiáng)烈發(fā)射造成的散射光引起的光譜干擾。最典型的是靈敏度較高的堿土金屬Ca、Mg在高濃度時(shí)由于強(qiáng)烈發(fā)射造成的散射效應(yīng)對(duì)鄰近譜線的影響，散射光使背景加深，從而降低了信噪比。

　　(4)分子光譜的干擾。主要是分子的吸收干擾，即在原子化過(guò)程中生成的氣體分子氧化物及鹽類分子對(duì)輻射吸收而引起的干擾。以前有不少文獻(xiàn)對(duì)以酸根離子溶液作介質(zhì)對(duì)某種元素的分子吸收干擾作了研究，但很少有人系統(tǒng)地研究對(duì)重金屬的分子吸收干擾。而我們?cè)趯?shí)際工作中很有必要了解這一干擾。常見(jiàn)的有分子光譜對(duì)200nm以下的分折線的干擾，OH分子在281.0～294.5 nm和306.4-324.5的區(qū)域發(fā)射的分子光譜對(duì)分析線的干擾。