臺式ICP光譜儀軟質樣品(例如:銅、鋁、鋅、鉛)必須車削表面或用酒精濕磨.磨好的表面一定不要玷污(例如用手觸摸).考慮到金屬熱漲冷縮效應,會影響光線穩定性.溫度變化會影響儀器的熱平衡,對接收器和一些電器件會造成不穩定,若溫差較對光路也會有影響.
臺式ICP光譜儀對于鋼和鑄鐵(顆粒,對鋼是60到80之間,對鑄鐵是40到60之間),建議用適合于本儀器樣品的砂紙干磨.砂紙一定不要被高合金含量的樣品污染(例如:應該先用于低合金樣品,再用于高合金樣品).樣品必須在清潔的、規范的砂紙上磨(沒有先前激發處理留下的激發的痕跡).樣品表面不能被拋光(適時更新用過的砂紙).必須確保樣品在磨的過程中沒有過熱(樣品應該與砂紙只有短暫的接觸)。如果需要,樣品應該用水冷卻,再干燥,再盡可能短的時間干磨.
臺式ICP光譜儀可用標樣中目標元素的“真實濃度”與分析線對和強度比(R)擬合工作曲線(校準曲線)。如果鐵含量變化過,如高、中合金鋼,其影響不可忽略,需要用標樣中目標元素的“相對濃度”(或“濃度比”)與分析線對和強度比(R)擬合工作曲線,這就是我國光譜分析的前輩講的“誘導含量法”。如果希望用同一工作曲線同時分析高、中、低合金鋼,那就都要用“相對濃度”來校正基體含量的影響。更進一步,如果既要校正基體含量的影響,又要校正共存元素的干擾,就應該用“表觀濃度”來擬合工作曲線。