ICP單道掃描光譜儀是由射頻發生器、試樣引進系統、掃描分光器、光電轉換、計算控制系統和分析操縱軟件組成。它的分析過程是：射頻發生器產生的高頻功率通過感應工作線圈加到三同心石英炬管上，在石英炬管的外層通過氬氣，并引進電火花使之電離形成氬等離子體。這種氬等離子體的zui高溫度可達6000-8000K。待測水溶試液試樣中的元素通過噴霧器形成的氣溶膠進進石英炬管中心通道，受到高溫的激發后，以光的形式放出特征譜線，通過透鏡進進掃描分光器，分光后將待測元素的特征譜線光強，正確定位于出口狹縫處，光電倍增管將該譜線光強轉換成光電流，在經電路處理和模V/F數變換后以脈沖數進進計算機進行數據處理，zui后由打印機打出分析結果。因此此儀器的穩定性好，丈量范圍寬，檢出下限低，被廣泛應用于稀土分析，環境保護，水質檢測，合金材料，建筑材料，醫藥衛生等科學領域元素定量分析。

  ICP單道掃描光譜儀的特點：射頻發生器的工作方式：自激式振蕩電路。射頻發生器一般有兩種輸出方式；自激式振蕩電路、他激式輸出電路，自激式振蕩電路，電路簡單，匹配好調，易于點燃ICP，但很難進行自動功率控制，所以穩定性不如他激式輸出電路。特點多,精致打造.