ICP光譜儀射頻發生器產生的高頻功率通過感應工作線圈加到三層同心石英炬管上，形成高頻振蕩電磁場；在石英炬管的外層通入氬氣，并進行高壓放電產生帶電粒子，帶電粒子在高頻電磁場中往復運動與其他氬原子碰撞，產生更多的帶電粒子，同時溫度升高，終形成氬氣等離子體，等離子體的溫度可達6000K～8000K。待測水溶液試樣通過霧化器形成的氣溶膠進入石英炬管中心通道，在高溫環境下受到激發，發射出溶液中所含元素的特征譜線；通過對等離子體光源進行采光，并利用掃描分光器進行掃描分光，將待測元素的特征譜線光強準確定位于出口狹縫處，利用光電倍增管將該譜線光強轉變成光電流，再經電路處理和模數變換后，進入計算機進行數據處理

　　ICP光譜儀，是根據試樣中被測元素的原子或離子，對各元素進行定性和定量分析的儀器；該儀器具有樣品用量少，應用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點。

　　當然，該儀器也存在不能應用于有機物、對標準試樣要求高、不宜作個別分析的缺點。其主要應用于地質普查、找礦；對于鋼鐵、冶金等部門，可進行生產控制分析和快速分析。特別是電感耦合等離子發射光源（如圖）和多通道光電直讀光譜儀，使原子發射光譜的應用得到了迅速的發展。

　　ICP測試的有效波長范圍是120-800nm，其中120-160nm波段尤其適用于分析鹵素或者某些特殊應用的替代普線。通常測試的樣品后必須保持澄清，顆粒、懸濁物有可能堵塞內室借口或者通道；溶解液不能含有堆一起有損壞的成分，如HF、強堿等；相對于ICP-MAS，ICP-AES測試的級別為ug/L(ppb)。