臺式ICP光譜儀的部分組成，光源系統:空心陰極燈。原子化系統:火焰原子化器，石墨爐原子化器或氫化物發生器。分光系統：單色器。檢測系統：光電倍增管等。能輻射出半寬度比吸收線半寬度還窄的譜線，并且發射線的中心頻率應與吸收線的中心頻率相同。輻射的強度應足夠。輻射光的強度要穩定，且背景。空心陰極燈則可滿足原子吸收上述三點要求，它是利用空心陰極效應而制成的一種特殊輝光放點管。空心陰極燈發光機理，空心陰極燈為直流供電，當在正負電極上施加適當電壓（一般為300～500伏）時，在正負電極之間便開始放電，這時，電子從陰極內壁射出，經電場加速后向陽極運動。電子在由陰極射向陽極過程中與載氣（惰性氣體）原子碰撞使其電離成為陽離子，帶正電荷的惰性氣體離子在電場加速下，以很快的速度轟擊陰極表面，使陰極內壁的待測元素的原子濺射出來，與其它粒子相互碰撞而被激發，處于激發態的原子很不穩定，多會自動回到基態，同時釋放能量，發出共振發射線。

    火焰原子化器，火焰原子化法是利用氣體燃燒形成的火焰來進行原子化的，實際上就是一個噴霧燃燒器，由三部分組成，即噴霧器，噴霧器:將試樣溶液轉為霧狀。霧化室：內裝撞擊球和擾流器（去除霧滴并使氣溶膠均勻）燃燒器：產生火焰并使試樣蒸發和原子化。