ICP(InductiveCoupledPlasmaEmissionSpectrometer)電感耦合等離子光譜發生儀，電感耦合等離子體(ICP)是目前用于原子發射光譜的主要光源。ICP具有環形結構、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學干擾少、準確度和精密度高等分析性能。

　　icp光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，icp光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。icp光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。

　　icp光譜儀主要用于微量元素的分析，可分析的元素為多數的金屬和硅、磷、硫等少量的非金屬，共72種。廣泛地應用于質量控制的元素分析，超微量元素的檢測，尤其是在環保領域的水質監測。

　　ICP還可以作為原子化器，如以空心陰極燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統.ICP作為原子化器的優點在于原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到克服.由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測，光電轉換后的電信號在放后由計算機處理，并報出各元素的分析結果.不過，值得提出的是，以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高.